5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能的發(fā)展推動(dòng)消費(fèi)者對高性能電子設(shè)備和元器件的需求。因此提供高產(chǎn)量及無缺陷的芯片逐漸成為制造商們所追求的目標(biāo)。在集成電路、半導(dǎo)體器件、LED、傳感器和電子封裝領(lǐng)域，使用掃描電鏡對表面特征及缺陷進(jìn)行目視檢測和組分分析已成為常規(guī)環(huán)節(jié)之一。 蔡司鎢燈絲電鏡EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀友好的用戶界面結(jié)合在一起，提供快速可靠的成像結(jié)果。預(yù)配置的EVO 10及25具有靈活的升級擴(kuò)展選項(xiàng)和模塊化功能，適用于各種應(yīng)用。如在自動(dòng)化工作流程中，通過簡化操作來提供快速的檢測結(jié)果，大幅降低培訓(xùn)成本。 ZEN軟件套裝允許將來自不同模態(tài)的圖像組合起來進(jìn)行用戶自定義分析，以便利用圖像處理和數(shù)據(jù)分析功能，獲取洞察和可操作信息。智能的自動(dòng)化功能讓重復(fù)性分析任務(wù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，并以簡單易用、用戶友好的方式減少復(fù)雜的圖像分割和特征測量，以合理的縮短檢測時(shí)間。 搭配蔡司ZEN軟件套件，蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVO“解決方案套裝”提供電子和半導(dǎo)體解決方案，以解決常規(guī)檢測、自動(dòng)材料和器件分析，以及關(guān)鍵特性和組件的測量和計(jì)量。

電子顯微鏡是電子行業(yè)質(zhì)量檢測和失效分析工作流程的重要組成部分之一，采用不同技術(shù)組合進(jìn)行失效分析，然后使用光學(xué)顯微鏡檢測和高分辨率電子顯微鏡成像，并使用能譜儀對材料進(jìn)行表征。